반응형 CVD 유형1 파운드리 공정 엔지니어 업무 실전 편 ②CVD 유형 파운드리 공정 엔지니어 업무 실전 편 ②CVD 유형 저는 늘 사용하던 말 들이라 아무렇지 않게 썼는데 반도체를 아예 모르시는 분들이 훨씬 많으니 용어 들에 대해서 설명드리도록 하겠습니다. CVD 유형에 대해서 말씀드려 보겠습니다. CVD 란 Chemical Vapor Deposition의 약자로 한국말로 하면 화학 기상 증착 법을 말합니다. 위키피디아에서만 보더라도 Pressure (압력) , Energy 등 여러 가지로 구별을 하는데 크게 보면 SA (Semi Atmospheric)에서 열 에너지로 Deposition을 하는 방식 / PE (Plasma Enhanced)에서 Plasma를 이용해 Deposition을 하는 방식이 있고 HDP (High Density Plasma) / ALD (Atomi.. 2022. 10. 12. 이전 1 다음 반응형
