반응형 파운드리4 삼성 파운드리 근무 삼성 파운드리 근무 이번에는 근무에 대해서 글을 써 보려 합니다. 반도체 장비의 경우 한 번 멈추면 다시 가동을 하는데 많은 시간이 소요되기 때문에 1년 내내, 주말 및 명절에도 항상 가동이 됩니다. 24시간 365일 내내 공장이 가동되는 것입니다. https://www.hankyung.com/economy/article/2020010161687 삼성 반도체 공장 '1분 정전' 피해액은 수십억 삼성 반도체 공장 '1분 정전' 피해액은 수십억, 삼성, 지난해 28분 정전에 500억 피해 정전 1분 발생했지만… 최적화 공정 상태 회복 위해 수일 시간 필요 "적어도 수십억 원" 피해 예상 www.hankyung.com 아무리 라인이 자동화되었다고 하더라도 엔지니어는 항상 필요합니다. 설비 엔지니어는 설비에서 .. 2022. 10. 26. 파운드리 공정 엔지니어 업무 실전 편 4)Trend 관리 파운드리 공정 엔지니어 업무 실전 편 4)Trend 관리 반도체 공정은 8대 공정으로 이루어 지지만 후딱 만드는 공정이 아닙니다. 각 공정마다 수십에서 수백 번 진행이 되며 제품에 따라 Wafer 투입부터 Fab out까지 최소 1달 이상 걸립니다. 이렇게 공정을 진행하면서 수없이 많은 계측이 이루어지고 이러한 계측된 타점을 Trend로 monitoring 합니다. 크게 나누면 성능에 영향을 주는 Parameter 관리 (Thickness , Overlay , CD 등) 과 Defect Trend로 볼 수 있을 것 같습니다. 1) Thickness Thickness 는 주로 증착을 하는 공정 이후 계측된 타점을 monitoring 합니다. CVD , METAL , DIFF 등 진행 이후 monitorin.. 2022. 10. 23. 파운드리 공정 엔지니어 업무 실전 편 ③Interlock 설비 편_2 파운드리 공정 엔지니어 업무 실전 편 ③Interlock 설비 편_2 System Interlock 저번에는 주로 H/W 적인 Interlock에 대해서 다뤄 보았습니다. 이번에는 System 적인 Interlock에 대해 알아보겠습니다. 역시 CVD 공정 기준으로 설명드립니다. 앞서 말씀드린 것처럼 원하는 막질을 증착하기 위해선 Temp , Pressure , Gas , RF 등 여러 조건이 모두 맞아야 원하는 Quality의 막질이 증착되게 됩니다. 구글에 검색하면 아래와 같은 실험 결과를 많이 볼 수 있습니다. 아래는 증착에 영향을 주는Temp , Pressure , Gas 등에 대한 split test 결과입니다. 같은 SiO2 , Oxide 막질을 증착한다 하더라도 Temp , Pressure .. 2022. 10. 21. 파운드리 공정 엔지니어 업무 실전 편 ②CVD 유형 파운드리 공정 엔지니어 업무 실전 편 ②CVD 유형 저는 늘 사용하던 말 들이라 아무렇지 않게 썼는데 반도체를 아예 모르시는 분들이 훨씬 많으니 용어 들에 대해서 설명드리도록 하겠습니다. CVD 유형에 대해서 말씀드려 보겠습니다. CVD 란 Chemical Vapor Deposition의 약자로 한국말로 하면 화학 기상 증착 법을 말합니다. 위키피디아에서만 보더라도 Pressure (압력) , Energy 등 여러 가지로 구별을 하는데 크게 보면 SA (Semi Atmospheric)에서 열 에너지로 Deposition을 하는 방식 / PE (Plasma Enhanced)에서 Plasma를 이용해 Deposition을 하는 방식이 있고 HDP (High Density Plasma) / ALD (Atomi.. 2022. 10. 12. 이전 1 다음 반응형
