반응형 pressure1 파운드리 공정 엔지니어 업무 실전 편 ③Interlock 설비편_1 파운드리 공정 엔지니어 업무 실전 편 ③Interlock 설비 편_1 Interlock 이란? 네이버에서 검색해보면 사전적 의미는 다음과 같습니다. 기계 각 부분의 작동이 정상적으로 작동하는 조건이 만족되지 못하는 경우에 기계적, 유ㆍ공압적 등의 방법에 의해 자동적으로 그 기계를 작동할 수 없도록 하는 기구를 인터 로크라 하며, 안전 측면에서는 기계의 위험 부분에 설치하는 안전커버 등이 개방되면 그 기계를 기동 할 수 없게 하거나, 안전장치 등이 정상으로 사용되지 못하면 기계를 작동할 수 없다. 또한 안전장치 등이 작동하면 기계가 급정지하는 등, 작업자에 대한 위험 유해방지를 위해 여러 가지 인터 로크의 기구가 이용되고 있다. 반도체 설비 관리 및 생산에 있어서 Interlock(이하 I/L) 은 위험에.. 2022. 10. 14. 이전 1 다음 반응형
